無塵車間功能溫度測試，應將潔凈區劃分為等面積的柵格，每個分格面積不超過100平方米或與建設方協商確定，每格測點1個以上，每個房間測點至少2個。測試高度應為工作面高度，距的吊頂、墻面和地面不小于300MM，并應考慮熱源等的影響，測量時間應至少1H，并至少6min測量一次，讀數穩定后做好記錄。無塵車間一般溫度測試的測點，每個溫度控制區或每個房間1個測點，測試點高度宜為工作面高度，測量時間應至少1H，并至少6min測量一次，讀數穩定后做好記錄。
無塵車間的溫度測試有功能溫度測試和一般溫度測試。功能溫度測試主要用于無塵車間需嚴格控制溫度精度時或建設方要求在“靜態”或“動態”進行測試時應用;一般溫度測試主要使用于“空態”時溫度測試。