無塵室凈化車間測試范圍
凡是和無塵室環(huán)境控制有關(guān)的因素，都在無塵室認(rèn)證的范圍之內(nèi)。在無塵室完工之前，業(yè)主、施工單位、與測試單位?應(yīng)就以下幾個(gè)主題做詳細(xì)討論并達(dá)成協(xié)議，以利測試進(jìn)行。
1. 待測無塵室涵蓋范圍、等級(jí)、面積、濾網(wǎng)位置、與數(shù)量
2. 測試的目的
3. 測試程序
4. 使用儀器
5. 測試報(bào)告撰寫方式與內(nèi)容
6. 工期
在測試前，將以上項(xiàng)目定義清楚，可以使測試順利進(jìn)行，發(fā)現(xiàn)問題時(shí)也可以盡快排除，對業(yè)主和施工單位都有利。
IEST-0062 有一個(gè)表說明測試項(xiàng)目，以及適用狀態(tài)，具有相當(dāng)參考價(jià)值表列如下。
IEST-RP-CC006.2 Table 1
章節(jié) 測試項(xiàng)目 單一流向型 非單一流向型 溷合型
6.1 風(fēng)量與均勻度
風(fēng)速與均勻度 1,2,3
1,2,3 1,2,3
OPT 1,2,3
OPT
6.2 濾網(wǎng)洩漏 1,2 1,2 1,2
6.3 潔淨(jìng)度 1,2,3 1,2,3 1,2,3
6.4 壓力 1,2 1,2,3 1,2,3
6.5 平行度 1,2 N/A OPT (1,2 only)
6.6 空間洩漏 1,2 1,2 1,2
6.7 恢復(fù)率 N/A 1,2 1,2
6.8 粒子沉降測試 1,2,3 1,2,3 1,2,3
6.9 照度 1,OPT(2,3) 1,OPT(2,3) 1,OPT (2,3)
6.10 噪音 1,2,3 1,2,3 1,2,3
6.11-6.13 溫溼度 1,2,2
OPT 1,2,3
OPT 1,2,3
OPT
6.14 振動(dòng) OPT OPT OPT
測試的順序沒有硬性規(guī)定，但是仍舊存在某些比較理想的順序
1: 測試適用于 As-built 狀態(tài)
2: 測試適用于 At-rest 狀態(tài)
3: 測試適用于 Operational 狀態(tài)
N/A: 代表該測試在該狀態(tài)下〝不適用〞
OPT: 代表該測試在該狀態(tài)下為〝選擇性測試〞，可以視製程需求而定
由上表可看出，風(fēng)量測試〈使用氣罩〉適用任何狀態(tài)，因?yàn)椴灰资芨蓴_。風(fēng)速量測，在非單一流向型〈亂流型〉無塵室就不推薦，因?yàn)槿菀资芨蓴_。當(dāng)然這是 IEST 的建議，我們可以自行決定。
至于測試的項(xiàng)目選擇，NEBB 建議：依重要性分成三級(jí)，說明如下。
第一級(jí)〈Level I〉: 第一級(jí)測試是所謂的主要測試，與潔淨(jìng)度直接有關(guān)的測試都屬第一級(jí)，每個(gè)無塵室都應(yīng)至少應(yīng)做的測試。
第一級(jí)測試項(xiàng)目包括：
A. 風(fēng)速量測
B. 風(fēng)量量測
C. 前兩項(xiàng)的均勻度分析
D. 空氣過濾器洩漏測試
E. 潔淨(jìng)度測試
F. 壓力量測
第二級(jí)〈Level II〉: 第二級(jí)測試，雖然也是與潔淨(jìng)度與氣流有關(guān)，但是只有在特殊情況下才需要進(jìn)行。
A. 氣流平行度量測〈只適用層流型無塵室〉
B. 空間洩漏測試〈幾乎已被壓差測試取代〉
C. 恢復(fù)率測試〈依建議只適用亂流型無塵室〉
D. 粒子沉降測試〈近年來已經(jīng)很少做〉
第三級(jí)〈Level III〉: 第三級(jí)測試就與氣流無關(guān)，都是屬于環(huán)境因素。
A. 照度與其均勻度
B. 噪音測試
C. 振動(dòng)測試
D. 溫溼度測試
